硅波导 (硅光子学)

促进客户研发，实现创意!!

敝公司硅波导制造服务的特点

根据客户的设计制作硅波导

高度加工技術に支えられたSi細線導波路ベースのプラットフォーム上にお客様の設計に基づいた極微細光回路を実現します。
  ※ 設計図（ GDSⅡ形式 もしくは dxf 形式）をご用意ください。

实现硅波导与光纤阵列之间的低损耗连接

光斑尺寸转换器，可实现与光纤等的低损耗连接，使客户能够进行高精度评估。配备

满足多种设计需求

我们提供满足客户多样化需求的选项，例如光学性能的精确控制以及与不同类型材料（如聚合物）的复合材料。

硅波导的制作→特性评价→到光纤安装的无缝对应

除了制造硅波导外，我们还可以无缝响应客户的要求，从评估光学特性到将光纤连接到芯片。

• 基本原型芯片示例
• 光斑尺寸变换器
• 选项加工实例
• 光纤安装
• 资料下载・咨询

1.硅细波导-基本原型芯片生产示例-

在基于硅微细波导的平台上，根据客户的设计实现超微细光电路。规范示例

波导芯径	400~500 nm宽x 220 nm厚
环形谐振腔	150纳米或更高
波导区域	5mm×5mm
SS转换芯径	3μm×3μm
SS转换波导间隔	50μm以上
切屑尺寸	15mm×5.6mm

支持无源波导和光学电路

2.低损耗连接:点大小转换器

通过在波导末端附加点大小转换，可以以低损耗连接光纤和激光器。(1.5 [dB/connection] )

将光纤阵列连接到硅芯片的示例

光纤阵列连接结构

3.选项加工实例

温控加热器及附加布线

高精度控制折射率和控制透射波长。

功能材料介绍

极化材料等功能材料的引入。

温控极小加热器

应用实例

○光开关、精密波长滤光片

客户需求

○通过局部加热精确控制光学特性

解决方案

了不易破损的加热器。1使用高熔点金属Ta薄膜，实现 2　　通过高精度形状加工实现的超细加热器 3　　通过低电阻金线布线实现仅加热特定部分

石英 (覆层) 上的Ta加热器模式加工例

应用实例