晶圆全面污染元素mapping(Sweeping-TXRF)
晶圆全面污染元素mapping(Sweeping-TXRF)

全反射荧光X射线分析实用例
通过详细的图解来了解晶圆的污染分布

SWEEPING TXRF分析咨询

污染的分布及量可同时检测

sweeping_txrf01.jpg
图1 一般的测定(Fe)
(200mmSi晶圆,5点测定)
检测点(白色部分)
sweeping_txrf02.jpg
图2 mapping测定(Fe)
(200mmSi晶圆,169点测定)
一般的晶圆污染元素分析通过五个点来检测,无法看到全体的情况。 Sweeping-TXRF的话,可以测出晶圆全面的污染分布和污染量

Sweeping-TXRF

面的分析

迅速

多点检测的时间和通常五点或三点的检测时间比一样,可保证更快的货期。

高精度