全反射荧光X射线分析实用例
通过详细的图解来了解晶圆的污染分布

SWEEPING TXRF分析咨询

污染的分布及量可同时检测

图1 一般的测定（Fe）
（200mmSi晶圆，5点测定）
检测点（白色部分）

图2 mapping测定（Fe）
（200mmSi晶圆，169点测定）

Sweeping-TXRF

面的分析

• 全面测量晶圆，确定污染部位。
• 通过累计计算可以知道晶圆整体的平均浓度。
• 晶圆尺寸最大可达300mm。可以任意选择测量点数。（详情请咨询我们）
• 测定点支持SEMI standard。
  检测点可为Concentric circle（同心圆）网格、Carrtesian（正交）网格、Single-diameter（单直径）网格等各种分布。

迅速

高精度

• 10¹⁰atoms/cm²级别的高精度。
• 可以在已经进行通常检测的数据基础上进行更高精度的分析。