ICP质量分析（ICP-MS）
ICP-MS可以分析水溶液中的极微量金属・非金属元素
什么是ICP质量分析（ICP-MS）
ICP-MS可以分析水溶液中的极微量金属・非金属元素。如果有类似要解决的问题，请考虑以下NTT-AT的权反射荧光X射线分析！
ICP-MS分析可同时测定水溶液中ppt级别的极微量金属・非金属元素。 1 ppt(parts per trillion)为1升中的1ng（1纳克），也就是0.000000001g。- 溶液的分析（固体・粉末状的话需要前期处理）
- 破坏分析
- 元素的定性，定量，同位素分析
- 高精度(ppt 级别)
ICP-MS 的装置构成及原理
首先介绍一下四级ICP-MS 的装置构成及原理。此装置由检测品导入部，等离子体，接口，离 子透镜，四级质量分析器，检测器构成。
四级ICP-MS 的构成图（Agilent Technologies 提供）
液体的检测品，使用软管泵或者雾化器自身的负压吸引导入到雾化器中，使其雾化，只有微小 的粒子可以通过喷雾器进到等离子体中。
进入到等离子体中的检测品瞬间分解，原子化，然后离子化，产生的离子从等离子体通过接口 部，通过采样锥和截取锥的腔体，最后到达真空状态的质量分析器。然后测定元素离子，通过 离子透镜系统会聚到四级质量分析器中，根据质量电荷比（m/z）进行分离。在这个四级质量 分析器中，只有具有特定的质量电荷比的离子才能透过。
最后，检测元素离子在检测器的二次电子增倍管被检测，成为每个质量的信号（质量光谱）。 得到的质量光谱中，各个元素的同位素信号出现在各自的质量数上，因信号强度与检测频溶液 中该同位素的浓度成比例，所以可以完成检测。
四级质量ICP-MS
双聚型（高分辨率）ICP-MS
此外，双聚型（高分辨率）ICP-MS 分析很适合以下两种检测品
- 存在影响测量值的干扰（多原子离子干扰）的检测品
- 需检测半导体中重要元素之一的磷（P）的低浓度检测品（半导体外延片表面/整体分析、无 尘室空气分析等）
适用例
- 外延片表面金属污染分析（适用尺寸 4 英寸～12 英寸）
- 整个检测品中的杂质
- 纯水，药剂，光致抗蚀剂中的杂质分析
- 金属成分的溶出量
- 薄膜组分和杂质分析
- 河水、温泉水、土壤溶出液等环境分析
可分析元素
除稀有气体，一部分卤素以外都可以检测
可分析元素